制造商：日本日立公司
房间号：126东
仪器负责人：李会峰
主要技术指标：
1. 分辨率：
1.0nm (15kV,工作距离4mm)
2.0nm (1kV，普通模式)
1.3nm (1KV，入射电子减速功能)
2. 加速电压：0.1 ~ 30kV
3. 放大倍率： 20 至 800k
4. 多种工作模式：高分辨、大束流强度、磁性样品工作模式、长工作距离模式
5. 物镜光阑： 4孔可调式，内置加热自清洁装置
6. 样品台驱动： 3轴马达驱动，移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~70°；R：360，最大样品尺寸：100mm
7. 通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程
8. 具有高位和低位二次电子探测器，高位探头安装在物镜上方，避免影响物镜成像，EXB系统，可接收二次电子像和背散射电子像，并以任意比例混合
9. 扫描模式：TV扫描(扫描速度不低于25帧/秒)
快扫描 慢扫描 全屏模式下1、4、20、40、80秒/桢，可选
10. 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3480像素
11 捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名
12. 电子图像移动：±12μm (WD=8mm)
应用范围
扫描电子显微镜（scanning electron microscope）。是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维。日立SU8010，具有优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm；具有日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品的优点。广泛用于化学科学、材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件等。
